UT-VSW3000NS シリーズ
～300mmウエハ用
真空搬送エリアの省スペース化に貢献する
スカラアーム搭載ダブルハンド型
真空ロボット
特長
- ●スカラアーム搭載により、長方形型搬送モジュールに対応し、省スペース化に貢献
- ●ダブルハンド搭載により、ウエハ交換を高速に実施
- ●ダイレクトドライブモータ搭載により、高精度な位置決めとアーム動作時の振動を大幅に低減
- ●アーム部にスチールベルト採用により、軌跡精度と位置決め精度の向上
- ●磁性流体シールを採用せず、真空隔壁シール採用により、超高真空対応と低アウトガス化が可能
仕様 ※1
| 型式 Model | UT-VSW3001NS | UT-VSW3002NS | |
|---|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 5軸水平多関節型 | ||
| ワーク把持方式 Wafer Gripping Method | 落とし込み式／摩擦把持式 | ||
| 動作範囲 Operation Range (※2) |
W2-axis (上部手首軸) | 20 - 340° | |
| W1-axis (下部手首軸) | 20 - 340° | ||
| B-axis (肘部軸) | 20 - 340° | ||
| A-axis (肩部軸) | エンドレス | ||
| Z-axis (昇降軸) | 50mm | 135mm | |
| 最大速度 Max. Operation Speed |
W2-axis | 150°/sec | |
| W1-axis | 150°/sec | ||
| B-axis | 複合補間動作 950mm/sec | ||
| A-axis | |||
| Z-axis | 32mm/sec | ||
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ direction: P-P 0.05 mm each (※3) | ||
| 可搬質量 Payload | 1.0kg (※4) | ||
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 1 | ||
| 本体質量 Mass | Approx. 260 kg | Approx. 285 kg | |
| 設置環境 Environment |
温度 Temperature | 5-40℃(本体)/5-80℃(アーム表面) | |
| 湿度 Humidity | 20-70%, No condensation | ||
| 圧力 Pressure | Atmospheric pressure ～ 10-6Pa | ||
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります
※2 アーム姿勢によっては制限があります
※3 当社の評価条件による
※4 ハンド、ウエハの合計質量
