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クリーン搬送ロボット

DAIHEN ACTRANS Virtual Museum

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クリーン搬送ロボット
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ウエハ搬送ロボット

真空環境
ウエハサイズ	シングルアーム	ダブルアーム
200～300mm	UT-VFX3000NMシリーズ UT-VDX3000NSシリーズ	UT-VSW3000NSシリーズ UTVW-R2800H UT-VDW3000HSシリーズ

大気環境用
ウエハサイズ	シングルアーム	ダブルアーム
～300mm	UT-AFX4000 UT-AFX3000NM UTX-RF5500RW (防滴モデル)	UT-AXW3000NSシリーズ UTM-R3700F (広範囲動作モデル) UT-AFW4000 UT-AFW3000NM UTW-REH5500 (高速モデル) UTW-RF5500RW (防滴モデル)

アライナ

真空環境	適用アライナ
50mm	OFH-4103
100mm	OFH-4103	OFH-4102
150mm		OFH-4102	OFH-4101
200mm			OFH-4101	OFH-4100
300mm				OFH-4100	EG-303

フラットパネル搬送ロボット

真空環境搬送ロボット
可搬質量	パネルサイズ（参考）	シングルアーム		ダブルアーム
可搬質量	パネルサイズ（参考）	Z軸なし	Z軸あり	リンクアーム	リニアスライド
3kg	G2	SPR-801R	SPR-804R
15kg	G4.5	SPR-811R
35kg	G4.5			SPR-8565
50kg	G5			SPR-8566
70kg	G5.5			SPR-8508R
85kg	G6			SPR-8571	SPR-8572
120kg	G6				SPR-8573
※G1～G10まで各世代の搬送ロボット製作実績があります。お気軽にお問い合わせください。

FOPLP搬送用
SPR-AD008BTN-154/035	SPR-AD008BWN-154/070

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ニュースリリース一覧

ニュース2024/12/03: 「SEMICON Japan 2024」出展のお知らせ
ニュース2022/07/28: ウエハ搬送ロボット「UT-VDW3000」が「機械工業デザイン賞IDEA 日本ロボット工業会賞」を受賞
ニュース2022/01/05: ウエハ搬送ロボット「UT-VDW3000」が「十大新製品賞本賞」を受賞
ニュース2021/10/29: 世界最速レベルの高速搬送を実現したウエハ搬送ロボットを新発売！

展示会・イベント情報一覧

ダイヘンのクリーン搬送ロボット

半導体・フラットパネルディスプレイ製造分野でのクリーン搬送に髙い信頼性で答えるダイヘンの独自技術のご紹介。
修理・サポート情報

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